α-重氮-1,3-二酮类化合物及由其制备的感光高分子聚合物
基本信息
| 申请号 | CN201010103810.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN101830827A | 公开（公告）日 | 2010-09-15 |
| 申请公布号 | CN101830827A | 申请公布日 | 2010-09-15 |
| 分类号 | C07C245/18(2006.01)I;C08F220/36(2006.01)I;C08F220/60(2006.01)I;C08F220/06(2006.01)I;C08F220/14(2006.01)I;C08F220/20(2006.01)I;C08F220/18(2006.01)I;C08F220/28(2006.01)I;C08F220/56(2006.01)I;C08F220/58(2006.01)I;G03F7/021(2006.01)I | 分类 | 有机化学〔2〕; |
| 发明人 | 邹应全;刘陆;牛辉楠;吴君丽 | 申请（专利权）人 | 惠州市容大感光科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京北翔知识产权代理有限公司 | 代理人 | 钟守期;唐铁军 |
| 地址 | 516347 广东省惠州市惠东县稔山镇海滨城开发区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种新的α-重氮-1，3-二酮类化合物及由其制备的感光高分子聚合物，所述化合物的制备方法以及所述聚合物用于制备光致抗蚀剂组合物的用途。由本发明的α-重氮-1，3-二酮类化合物制备的感光高分子聚合物能够在250-400nm的波长下感光，由该聚合物制备的抗蚀剂组合物具有分辨率高等优点，可作为单组分光致抗蚀剂使用，即无需再添加成膜树脂；并且由于是非化学增幅性抗蚀剂，避免了化学增幅型抗蚀剂由于后烘延迟所导致的线宽变宽和不溶表皮层等问题。 |
