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一种芯片双积分球测试装置及测试方法

基本信息

申请号 CN202111408116.5 申请日 -
公开（公告）号 CN113848464A 公开（公告）日 2022-02-15
申请公布号 CN113848464A 申请公布日 2022-02-15
分类号 G01R31/28 分类 测量；测试;
发明人 张智峰;牛超凡;伊利;徐虎子;韩凯音;赵兴华;王泽明 申请（专利权）人 河北圣昊光电科技有限公司
代理机构 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 代理人 郑越
地址 050000 河北省石家庄市高新区长江大道315号创新大厦23楼A3
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及芯片测试技术领域，具体涉及一种芯片双积分球测试装置及测试方法。一种芯片双积分球测试装置，包括：转盘，具有相对设置的至少两个测试工位;驱动结构，设于所述转盘的一侧，包括支架、与支架连接的驱动件和与所述支架滑动连接的滑轨，所述支架上并排设有两个安装工位;第一测试结构和第二测试结构，分设于两个所述安装工位上，在所述驱动件的作用下，所述第一测试结构或第二测试结构与两个安装工位之间的测试工位对准。本发明提供了一种可以同时测量不同功率和波长的芯片，测试效率较高的芯片双积分球测试装置及测试方法。