首页/ 河北圣昊光电科技有限公司/ 专利详情

一种基于双积分球的芯片测试设备及测试方法

基本信息

申请号 CN202111472132.0 申请日 -
公开（公告）号 CN113865835B 公开（公告）日 2022-02-18
申请公布号 CN113865835B 申请公布日 2022-02-18
分类号 G01M11/02（2006.01）I;G01J3/28（2006.01）I;G01J3/02（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 张智峰;杜海洋;杨宁;梁书尧;刘强;薛飞飞 申请（专利权）人 河北圣昊光电科技有限公司
代理机构 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 代理人 郑越
地址 050000河北省石家庄市高新区长江大道315号创新大厦23楼A3
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及芯片测试技术领域，具体涉及一种基于双积分球的芯片测试设备及测试方法。包括：沿芯片传输方向依次设置的自动供给装置、自动对位装置、测试装置和收纳装置；测试装置包括：转盘，具有相对设置的至少两个测试工位;驱动结构，设于转盘的一侧，包括支架、与支架连接的驱动件和与支架滑动连接的滑轨，支架上并排设有两个安装工位;第一积分球和第二积分球，分设于两个安装工位上，在驱动件的作用下，第一积分球或第二积分球与两个安装工位之间的测试工位对准，第一积分球和第二积分球可测试的最大功率不同。本发明提供的基于双积分球的芯片测试设备及测试方法可以同时测量不同功率和波长的芯片，测试效率较高。