一种双偏振输出量子密钥分发光源及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202010177597.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111341890B | 公开（公告）日 | 2021-10-01 |
| 申请公布号 | CN111341890B | 申请公布日 | 2021-10-01 |
| 分类号 | H01L33/00（2010.01）I;H01L33/06（2010.01）I;H01L33/24（2010.01）I;H01L33/48（2010.01）I;H01L33/58（2010.01）I;H01L33/62（2010.01）I;H04L9/08（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 曲迪;余竞航;白国人;王磊;陈帅;陈景春 | 申请（专利权）人 | 天津华慧芯科技集团有限公司 |
| 代理机构 | 天津市鼎和专利商标代理有限公司 | 代理人 | 蒙建军 |
| 地址 | 300467天津市滨海新区生态城中天大道1620号生态科技园启发大厦12层101 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种双偏振输出量子密钥分发光源及其制备方法，属于半导体技术领域，其特征在于，至少包括如下步骤：S1、以LED外延片为衬底，首先制备5～10微米宽的分隔槽，进而将芯片分为两个独立的发光区域，并填充绝缘介质进行隔离；S2、外延片衬底上制备二氧化硅隔离层，并在发光区域周围腐蚀出电极接触区域；制备出两块金属电极，用于实现两个分区域的分别导通；S3、以上述分隔槽为轴，两边各取一个半圆形区域制备金属线栅，组成圆形发光区域，上述圆形发光区域的直径在20～100微米，两边线栅的方向相差45°；S4、最后制备出微透镜，使两种偏振态的输出光汇聚。 |
