一种晶圆烘烤用热板
基本信息
| 申请号 | CN202022988331.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214338152U | 公开（公告）日 | 2021-10-01 |
| 申请公布号 | CN214338152U | 申请公布日 | 2021-10-01 |
| 分类号 | H05B3/20（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 其他类目不包含的电技术; |
| 发明人 | 王磊;曲迪;白国人;明辰;陈帅;陈景春;梁娟;姬静远 | 申请（专利权）人 | 天津华慧芯科技集团有限公司 |
| 代理机构 | 天津市鼎和专利商标代理有限公司 | 代理人 | 蒙建军 |
| 地址 | 300467天津市滨海新区生态城中天大道1620号生态科技园启发大厦12层101 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆烘烤用热板，属于半导体材料技术领域，包括底座和加热板；其特征在于，所述底座的上表面通过多根柱子与加热板的下表面固定连接；在所述加热板上开设有多个竖直方向设置的通孔；至少还包括：位于每个通孔内的立柱；所述立柱的直径小于通孔的内径；与所述立柱下端连接的支架；带动支架在竖直方向运动的传送机构；以及计时器；所述传送机构包括电机，所述支架与竖直方向设置的传送杆固定连接，所述电机的轴承与传送杆相互垂直，且两者之间相互啮合。本实用新型对热板表面的结构进行了改良，方便了晶圆的取放，另外加入了计时装置；使得晶圆取放非常容易，并且烘烤时间可控。 |
