一种用于表征样品喷金的截面样品台专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种用于表征样品喷金的截面样品台

基本信息

申请号	CN202022987861.7	申请日	-
公开（公告）号	CN214334441U	公开（公告）日	2021-10-01
申请公布号	CN214334441U	申请公布日	2021-10-01
分类号	G01N1/32（2006.01）I	分类	测量；测试;
发明人	王俊;陈帅;白国人;王磊;明辰;林海鹏;陈景春;曲迪	申请（专利权）人	天津华慧芯科技集团有限公司
代理机构	天津市鼎和专利商标代理有限公司	代理人	蒙建军
地址	300467天津市滨海新区生态城中天大道1620号生态科技园启发大厦12层101
法律状态	-

摘要

本实用新型公开了一种用于表征样品喷金的截面样品台，属于半导体材料技术领域，包括抛光样品台底座、截面样品喷金台和截面样品贴片；抛光样品台底座上表面开设有竖直方向上的垂直孔和水平方向上的螺纹孔，垂直孔和螺纹孔连通，螺纹孔内设置有紧固螺丝钉，垂直孔为盲孔；截面样品喷金台包括喷金台底座；喷金台底座的下表面设置有与垂直孔配合用的凸起；喷金台底座的上表面设置有端挡板和位于端挡板两端的侧挡板；端挡板和侧挡板相互垂直；两个侧挡板的相对面上固定截面样品贴片的突起卡槽。本申请将加工样品平面贴在截面样品贴片上，将截面样品贴片平面推入卡槽并与之固定，由于截面样品贴片的凹槽与卡槽的突起部分能够刚好吻合，故能够将其固定。