一种OLED显示器晶圆图的测试方法

基本信息

申请号 CN202110337659.6 申请日 -
公开(公告)号 CN113034474A 公开(公告)日 2021-06-25
申请公布号 CN113034474A 申请公布日 2021-06-25
分类号 G06T7/00;G06T7/11;G06K9/32;G06K9/38;G06T5/00;G06T5/40;G06T7/136;H01L21/66;H01L27/32 分类 计算;推算;计数;
发明人 王鑫鑫;严华宁;粘为进 申请(专利权)人 无锡美科微电子技术有限公司
代理机构 合肥方舟知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 朱荣
地址 214000 江苏省无锡市锡山经济技术开发区万全路30号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种OLED显示器晶圆图的测试方法。本发明中,采用型号为MantaG‑917B的黑白工业千兆网相机,具有900万像素分辨率。根据晶圆成像区域视野大小宽约3mm,传感器装置的尺寸宽12.8mm,以及成像要求,所以选择4倍远心放大镜头,C型接口的工业远心镜头进行拍摄;之后通过多种处理方式对内部晶圆图案轮廓进行仿射变换,剪裁区域后分区域作不同阈值分割和形态学处理,进而实现点状缺陷、线状缺陷、面状缺陷、大面积污染缺陷、缺角缺陷的缺陷检测与缺陷标记,同时也简化了复杂的操作流程,方便了后续的工作人员对晶圆进行检测,各种图像的预处理技术提高了图像处理的清晰度从而使得后续的测试过程结果更加具有准确性和真实性。