大功率电子与离子的等离子体源

基本信息

申请号 CN202020826582.X 申请日 -
公开(公告)号 CN211656492U 公开(公告)日 2020-10-09
申请公布号 CN211656492U 申请公布日 2020-10-09
分类号 H05H1/46(2006.01)I 分类 其他类目不包含的电技术;
发明人 于宝海;巴伊尔·达姆皮隆;刘占奇 申请(专利权)人 沈阳金锋特种设备股份有限公司
代理机构 沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 代理人 张晨
地址 110000 辽宁省沈阳市浑南区浑南东路19-12号101室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种大功率电子与离子的等离子体源,包括:空心阴极主体、可拆卸空心阴极部分、可拆卸陶瓷管、阳极、永磁体、发射阴极主体、可拆卸发射阴极部分及加速电极;所述空心阴极主体、可拆卸空心阴极部分及可拆卸陶瓷管共同形成空心阴极;所述发射阴极主体与可拆卸发射阴极部分过盈配合共同形成发射阴极。本实用新型更易更换空心阴极易损件,提高了空心阴极的工作寿命,通过更换空心阴极中可拆卸部分,可减少空心阴极材料的损耗,改进了永磁体的冷却性能和相关组件的运行稳定性,增加了等离子体浓度、提高了电子束功率。