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多晶硅生产控制系统及控制方法

基本信息

申请号 CN202011521983.5 申请日 -
公开（公告）号 CN112624121B 公开（公告）日 2021-09-28
申请公布号 CN112624121B 申请公布日 2021-09-28
分类号 C01B33/035 分类 无机化学;
发明人 吉红平;施光明;王琳;李宇辰;何乃栋;郭光伟;陈宏博;蒲泽军 申请（专利权）人 青海省亚硅硅材料工程技术有限公司
代理机构 南京利丰知识产权代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 赵世发;王锋
地址 810000 青海省西宁市经济技术开发区金硅路1号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明揭示了一种多晶硅生产控制系统及控制方法。所述多晶硅生产控制系统包括与还原炉配合的控制装置；所述控制装置包括电压检测模块、逻辑模块和执行模块；所述电压检测模块至少用于检测还原炉的电压参数，并将所述电压参数发送至逻辑模块；所述逻辑模块至少用于判断所述电压参数是否发生波动或异常，并将判断结果发送至执行模块；所述执行模块至少用于在所述电压参数被判定为发生波动或异常的情况下，调整还原炉的进料配比。本发明提供的多晶硅生产控制系统及控制方法，能够第一时间发现还原炉内是否有异常情况，进料配比是否合适，并能及时加以调整，大大减少硅棒生长异常，出现鱼鳞状、夹层、无定形硅等异常料的产出，提升产品质量。