一种高导通低漏电的肖特基芯片
基本信息
申请号 | CN201921868925.2 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN210516734U | 公开(公告)日 | 2020-05-12 |
申请公布号 | CN210516734U | 申请公布日 | 2020-05-12 |
分类号 | H01L29/872;H01L29/06 | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 薛涛;关仕汉;迟晓丽 | 申请(专利权)人 | 淄博汉林半导体有限公司 |
代理机构 | 淄博佳和专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 商晓 |
地址 | 255086 山东省淄博市高新区政通路135号高科技创业园C416室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 一种高导通低漏电的肖特基芯片,属于半导体技术领域。包括衬底,在衬底表面设置有外延层,在外延层中部形成肖特基界面(4),其特征在于:所述的外延层包括第一外延层和第二外延层,在肖特基界面(4)下部的第二外延层内间隔设置有多个第二单晶硅区(5),在每一个第二单晶硅区(5)的下方分别设置有第一单晶硅区(3),第二单晶硅区(5)的宽度大于其底部对应的第一单晶硅区(3)的宽度。在本高导通低漏电的肖特基芯片中,设置有两层外延层,并通过设置第一单晶硅区和第二单晶硅区,可以有效阻断反向电流,同时有效增大肖特基界面的面积,降低了正向导通的电阻,因此增大了正向导通电流。 |
