一种新型双沟槽的肖特基二极管

基本信息

申请号 CN202021477848.0 申请日 -
公开(公告)号 CN212542446U 公开(公告)日 2021-02-12
申请公布号 CN212542446U 申请公布日 2021-02-12
分类号 H01L29/872(2006.01)I; 分类 基本电气元件;
发明人 薛涛;关仕汉;迟晓丽 申请(专利权)人 淄博汉林半导体有限公司
代理机构 淄博川诚知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 高鹏飞
地址 255086山东省淄博市高新区政通路135号高科技创业园C416室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种新型双沟槽的肖特基二极管,包括N+型衬底和N‑型外延层,所述N+型衬底上表面设置有N‑型外延层,所述N型外延层上表面的芯片外圈对称开设有1个或多个降压环,所述N‑型外延层上表面的中心处均匀开设有第一沟槽,所述N‑型外延层上表面位于所述两个第一沟槽之间开设有第二沟槽,所述降压环和第一沟槽内壁设有氧化硅绝缘层,所述降压环和第一沟槽内部均填充有多晶硅;本实用新型通过在N‑型外延层表面设置第一沟槽和第二沟槽,采用双沟槽设计,通过第一沟槽可以在芯片反向通电流时有效阻断电流,通过第二沟槽可有效增大肖特基界面的面积,大大的增加了导电面积减小正向压降,提高产品导通时的效率。