一种新型立体导电的肖特基二极管

基本信息

申请号 CN202021494485.1 申请日 -
公开(公告)号 CN212542447U 公开(公告)日 2021-02-12
申请公布号 CN212542447U 申请公布日 2021-02-12
分类号 H01L29/872(2006.01)I; 分类 基本电气元件;
发明人 薛涛;关仕汉;迟晓丽 申请(专利权)人 淄博汉林半导体有限公司
代理机构 淄博川诚知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 高鹏飞
地址 255086山东省淄博市高新区政通路135号高科技创业园C416室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种新型立体导电的肖特基二极管,包括N+衬底,所述N+衬底的上表面开设有N‑外延,所述N‑外延上表面的四周均开设有氧化硅保护层,所述N‑外延的中部有源区位置开设有多个有源区沟槽,所述氧化硅层的下面位于有源区沟槽的四周开设有1个或多个位于N‑外延的终止区沟槽,所述有源区沟槽的内壁及有源区N‑外延有源区表面设有肖特基界面;本实用新型通过采用立体的肖特基界面,使有效的肖特基导电面积比有源区沟槽式肖特基增大1‑5倍,大大的增加了导电面积减小正向压降,提高产品导通时的效率,在进行使用时具备更高的实用性,结构简单,具备一定的有益效果。