薄膜体声波谐振器及其制作方法、滤波器
基本信息
| 申请号 | CN201811356081.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109474255B | 公开（公告）日 | 2021-03-02 |
| 申请公布号 | CN109474255B | 申请公布日 | 2021-03-02 |
| 分类号 | H03H9/17(2006.01)I;H03H3/02(2006.01)I | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 李平;王伟;胡念楚;贾斌 | 申请（专利权）人 | 开元通信技术（厦门）有限公司 |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 任岩 |
| 地址 | 361000福建省厦门市海沧区海沧大道555号厦门中心大厦E栋19楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本公开提出了一种薄膜体声波谐振器及其制作方法、滤波器；所述薄膜体声波谐振器包括：衬底；形成于所述衬底上的压电堆叠结构，该压电堆叠结构包括底电极、压电膜和顶电极；以及形成于所述压电堆叠结构上的第一焊盘和第二焊盘；其中，所述薄膜体声波谐振器还包括介质层，所述介质层形成于所述压电膜的刻蚀端面，和/或形成于所述压电膜和底电极的刻蚀端面，和/或形成于所述压电膜和顶电极的刻蚀端面，和/或形成于所述压电膜、顶电极和底电极的刻蚀端面。本公开薄膜体声波谐振器及其制作方法、滤波器，提升器件性能，简化了制作流程，降低了制作成本。 |
