体声波滤波器及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202110829422.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113472314A | 公开（公告）日 | 2021-10-01 |
| 申请公布号 | CN113472314A | 申请公布日 | 2021-10-01 |
| 分类号 | H03H9/54（2006.01）I;H03H9/10（2006.01）I;H03H3/02（2006.01）I | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 蒋将;李平;胡念楚;贾斌 | 申请（专利权）人 | 开元通信技术（厦门）有限公司 |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 张体南 |
| 地址 | 361026福建省厦门市海沧区海沧大道555号厦门中心大厦E栋19楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本公开提供了一种体声波滤波器及其制备方法。该体声波滤波器包括基板、谐振结构、底电极结构和盖板结构。谐振结构设置于基板的中间位置；底电极结构设置于基板的表面上，并覆盖谐振结构的谐振腔；盖板结构与底电极结构键合连接，将谐振结构密封于盖板结构和基板之间的密封空间中。相对于现有技术中底电极结构凹设于基板的沟槽中的结构设计，通过将底电极结构直接形成于基板上表面，省去了对基板的沟槽刻蚀等工艺，简化了微帽晶圆加工层数和加工步骤流程，极大地降低了成本，同时可以保证体声波滤波器的器件性能和器件质量。 |
