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单晶炉及应用方法

基本信息

申请号 CN202111476595.4 申请日 -
公开（公告）号 CN114164488A 公开（公告）日 2022-03-11
申请公布号 CN114164488A 申请公布日 2022-03-11
分类号 C30B15/14（2006.01）I;C30B15/10（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 欧子杨;杨宇昂;向鹏 申请（专利权）人 晶科能源股份有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 334100江西省上饶市经济开发区晶科大道1号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种单晶炉及应用方法，单晶炉包括：保温筒、坩埚、埚帮、加热器和隔热垫。坩埚设置于保温筒内；埚帮位于坩埚外侧，包括侧面和底面，底面连接有帽沿结构；加热器，包括侧部加热器和底部加热器，侧部加热器位于侧面与保温筒之间，底部加热器位于埚帮底部；隔热垫，位于侧部加热器靠近底部加热器一侧，一端与保温筒接触，在垂直于底部加热器所在平面的方向上，隔热垫与帽沿结构不重合。通过设置帽沿结构和隔热垫能够阻隔侧部加热器对坩埚底部的加热，当加热垫与帽沿结构远离坩埚一端处于同一平面时，可以将炉内空间进行分割。