一种用于XPS可回收空气敏感样品的转移装置

基本信息

申请号 CN201921211814.4 申请日 -
公开(公告)号 CN210427411U 公开(公告)日 2020-04-28
申请公布号 CN210427411U 申请公布日 2020-04-28
分类号 G01N23/2273;G01N23/2204 分类 测量;测试;
发明人 韩广帅;杨雅晴;崔佳佳;姚一帆 申请(专利权)人 上海蓄熙新能源材料检测有限公司
代理机构 上海市锦天城律师事务所 代理人 何金花;何晶晶
地址 201804 上海市嘉定区安亭镇曹安公路4801号208室-1
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供一种用于XPS可回收空气敏感样品的转移装置,包括:样品座、样品台及样品盖;样品座包括内腔、外壁、空心柱、单向真空阀及密封圈,空心柱位于所述内腔的中心,在空心柱的内壁上设有螺纹,空心柱的高度不超过内腔的高度;单向真空阀设置在外壁上并贯穿内壁,密封圈设置在样品座的开口处。本实用新型装置用于自动进样及手动进样的XPS设备,可实现空气敏感样品的非大气暴露测试,以及样品的非大气暴露回收再用。