一种氮化物器件倒装的方法

基本信息

申请号 CN03138894.9 申请日 -
公开(公告)号 CN100395897C 公开(公告)日 2008-06-18
申请公布号 CN100395897C 申请公布日 2008-06-18
分类号 H01L33/00(2006.01);H01S5/00(2006.01) 分类 基本电气元件;
发明人 何晓光 申请(专利权)人 厦门市三安光电股份有限公司
代理机构 厦门原创专利事务所 代理人 厦门三安电子有限公司;厦门市三安光电科技有限公司
地址 361009福建省厦门市吕岭路1721号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种氮化物器件倒装的方法,氮化物器件与载体之间通过焊锡溶解实现键合,焊锡溶解由激光能量提供。激光通过对其透明的氮化物器件或载体照射到氮化物器件与载体的键合面。采用此激光键合方法较传统加热炉中溶合的方法具有巨大的优点。