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基于温度调节性能的石墨烯仿生光探测器及其制备方法

基本信息

申请号 CN201710024581.6 申请日 -
公开（公告）号 CN108303122A 公开（公告）日 2018-07-20
申请公布号 CN108303122A 申请公布日 2018-07-20
分类号 G01D5/26;C23C16/26 分类 测量；测试;
发明人 李铁;仝敬;王伊;张蕾;高安然;张东伟;宋海峰;王跃林 申请（专利权）人 北京正旦国际科技有限责任公司
代理机构 上海光华专利事务所（普通合伙） 代理人 余明伟
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种基于温度调节性能的石墨烯仿生光探测器及其制备方法，所述制备方法包括：1)提供石墨烯及微加热器平台，并将所述石墨烯转移至所述微加热器平台上；2)将步骤1)所得到的结构置于化学气相沉积反应炉中退火；3)于退火后的所述石墨烯表面通过试剂进行修饰，形成具有活性基团的活性薄膜；4)于所述活性薄膜表面形成光受体蛋白。本发明通过采用悬膜式的加热结构连接石墨烯，并在石墨烯表面修饰光受体蛋白，一方面采用光受体蛋白实现波长选择性，提高光吸收率；另一方面采用悬膜式加热结构，减少衬底对石墨烯性能的影响，更可以通过加热电压来调节工作温度，从而调节光生载流子迁移率和浓度，以提高光探测器件的性能。