具有波长选择性的石墨烯仿生光探测器及其制备方法

基本信息

申请号 CN201710018051.0 申请日 -
公开(公告)号 CN108305912A 公开(公告)日 2018-07-20
申请公布号 CN108305912A 申请公布日 2018-07-20
分类号 H01L31/18;H01L31/09;H01L31/028;H01L31/0216 分类 基本电气元件;
发明人 李铁;王伊;仝敬;张蕾;高安然;张东伟;宋海峰;王跃林 申请(专利权)人 北京正旦国际科技有限责任公司
代理机构 上海光华专利事务所(普通合伙) 代理人 余明伟
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种具有波长选择性的石墨烯仿生光探测器及其制备方法,包括步骤:1)提供一基板;2)于所述基板上形成电极器件,包括测试电极、供电引线、供电电极;3)提供石墨烯并转移至所述电极器件上,至少覆盖所述测试电极;4)将上述结构置于反应炉中退火;5)于退火后的所述石墨烯表面形成具有活性基团的活性薄膜;6)于所述活性薄膜表面形成光受体蛋白。本发明将石墨烯与对特定波长光辐射敏感的光受体蛋白相结合,尤其改变了本征石墨烯对光的无选择性吸收并且吸收率低的缺点,灵敏度高,响应和恢复快,稳定性好,另外,本发明工艺过程简单,成本较低,适于批量生产。