一种使用硅溶胶制备合成二氧化硅粉末的制造方法

基本信息

申请号 CN202110051315.9 申请日 -
公开(公告)号 CN112645340A 公开(公告)日 2021-04-13
申请公布号 CN112645340A 申请公布日 2021-04-13
分类号 C01B33/18;C01B33/12 分类 无机化学;
发明人 黄洁;渡步弘行 申请(专利权)人 宁波璞行半导体材料有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 315400 浙江省宁波市余姚市马渚镇东横路98号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及二氧化硅制备工艺技术领域,特别涉及一种使用硅溶胶制备合成二氧化硅粉末的制造方法。本发明的一种使用硅溶胶制备合成二氧化硅粉末的制造方法,是通过对硅溶胶添加氢氟酸或氟化铵的氟化物水溶液,并降温处理,对该经过预处理的硅溶胶溶液进行反复多次的离子交换处理,再对得到的合成二氧化硅疏松体进行氢氟酸蒸汽处理,最终得到杂质含量低于0.5ppm,羟基低于20ppm,密度高于1.25的二氧化硅成品。