一种高世代TFT级细晶粒ITO靶材的制造方法
基本信息
| 申请号 | CN202110137140.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112723863A | 公开（公告）日 | 2021-04-30 |
| 申请公布号 | CN112723863A | 申请公布日 | 2021-04-30 |
| 分类号 | C04B35/01;C04B35/622;C23C14/34;C23C14/35 | 分类 | 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕; |
| 发明人 | 李鹏;文宏福 | 申请（专利权）人 | 韶关市欧莱高纯材料技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京天盾知识产权代理有限公司 | 代理人 | 林晓宏 |
| 地址 | 512000 广东省韶关市武江区西联镇阳山村委阳山五号路6号韶关市欧莱高新材料有限公司B幢厂房办公区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种高世代TFT级细晶粒ITO靶材的制造方法，包括粉末制备步骤、混合研磨步骤、喷雾造粒步骤、压制成型步骤和烧结成型步骤。本发明的ITO靶材的制造方法，能制造大尺寸高密度晶粒的ITO靶材，靶材密度＞99.9％，均晶粒直径控制在3至5μm。 |
