一种调平系统和运动台
基本信息
| 申请号 | CN202110466119.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114038773A | 公开（公告）日 | 2022-02-11 |
| 申请公布号 | CN114038773A | 申请公布日 | 2022-02-11 |
| 分类号 | H01L21/68（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 罗岩;傅为一;陆海亮;谢扬 | 申请（专利权）人 | 江苏集萃苏科思科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州通途佳捷专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 翁德亿 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市相城区高铁新城南天成路88号天成信息大厦601-A109室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种调平系统和运动台。其包括：计算单元、控制阀、空气隔振器、第一类补偿器和第一类传感器。计算单元用于根据平台的质心变化轨迹计算出隔振器的压力轨迹曲线，控制阀分别与计算单元以及空气隔振器相连，控制阀用于根据压力轨迹曲线控制空气隔振器的运转，第一类传感器用于获得平台的垂向实际位置值，第一类补偿器与第一类传感器相连，第一类补偿器用于根据实际位置值和设定位置值的差值计算出需要补偿的气压值。由于提前计算出了压力轨迹曲线，空气隔振器可根据压力轨迹曲线进行运行，有利于提高反应速度和反应精确度，且由于使用空气隔振器来对平台进行支撑，不会造成长期使用发热量过大的情况。本申请的系统可长期稳定的工作。 |
