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一种超声换能器用压电阵元的制作方法

基本信息

申请号 CN202110445995.2 申请日 -
公开（公告）号 CN113314663A 公开（公告）日 2021-08-27
申请公布号 CN113314663A 申请公布日 2021-08-27
分类号 H01L41/337（2013.01）I;H01L41/29（2013.01）I;H01L41/31（2013.01）I;H01L41/312（2013.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 刘悦;刘恩清;马有草;宋健 申请（专利权）人 淄博微铨新型金属功能材料有限公司
代理机构 北京安博达知识产权代理有限公司 代理人 徐国文
地址 255086山东省淄博市高新区柳泉路125号先进陶瓷产业创新园A座510-10
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种超声换能器用压电阵元的制作方法，其包括将压电陶瓷片减薄至50μm或其以下厚度；于减薄后的压电陶瓷片的两表面分别沉积电极后，再于其中一个表面设置背衬材料，得初始压电阵元；切割初始压电阵元，得压电阵元。本发明提供的技术方案利用减薄压电阵元中压电陶瓷片厚度的工艺，同时实现了压电阵元总体厚度的减小，以及对压电陶瓷片厚度的精确控制，获得了具有可调谐振频率的压电阵元；本发明采用的减薄后再沉积电极、设置背衬材料的技术方案既可使背衬材料设置均匀，又不影响对压电陶瓷片与背衬材料的结合。