一种三维纳米多孔硅的制备装置及制备系统
基本信息
| 申请号 | CN201611159904.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106744672B | 公开（公告）日 | 2019-01-04 |
| 申请公布号 | CN106744672B | 申请公布日 | 2019-01-04 |
| 分类号 | B82B3/00;B82Y40/00 | 分类 | 超微技术〔7〕; |
| 发明人 | 洪捐;耿其东;周兆锋;杜建周;黄因慧 | 申请（专利权）人 | 江苏海州经济开发区管理委员会 |
| 代理机构 | 北京超凡志成知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 盐城工学院;江苏海州经济开发区管理委员会;南京卓胜自动化设备有限公司 |
| 地址 | 224000 江苏省盐城市世纪大道1166号研创大厦 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及纳米多孔硅材料的制备领域，提供了一种三维纳米多孔硅的制备装置，包括底座、激波发生器、激波电源、工作液槽、化学刻蚀反应容器以及温度计，激波发生器设置于底座的顶部，工作液槽设置于激波发生器的顶部，化学刻蚀反应容器通过夹持装置设置于工作液槽内，温度计设置于化学刻蚀反应容器内，工作液槽内设置有加热元件，激波电源设置于底座的侧壁，激波发生器和加热元件均与激波电源电路连接。该装置操作简单，且其制得的三维纳米多孔硅产率、高孔洞分布均匀、孔径尺寸均匀。本发明还提供了一种三维纳米多孔硅的制备系统，其包括上述的三维纳米多孔硅的制备装置，该系统制得的三维纳米多孔硅产率高品质好。 |
