一种三维纳米多孔硅的制备方法及制备装置
基本信息
| 申请号 | CN201611161421.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106744971A | 公开（公告）日 | 2017-05-31 |
| 申请公布号 | CN106744971A | 申请公布日 | 2017-05-31 |
| 分类号 | C01B33/021(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 洪捐;杜建周;岳鹿;陈松;黄因慧 | 申请（专利权）人 | 江苏海州经济开发区管理委员会 |
| 代理机构 | 北京超凡志成知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 栾波 |
| 地址 | 224000 江苏省盐城市世纪大道1166号研创大厦 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及纳米多孔硅材料的制备领域，提供了一种三维纳米多孔硅的制备方法，包括：将采用氢氟酸清洗后的硅颗粒放入化学刻蚀液中进行化学刻蚀,并在化学刻蚀的过程中施加激波辅助；将经过化学刻蚀后的硅颗粒依次通过稀硝酸和去离子水进行清洗；将清洗后的硅颗粒进行离心提取。该方法采用激波辅助对硅颗粒进行化学刻蚀，成本低、效率高所制备的三维纳米多孔硅的孔隙分布均匀。本发明还提供了一种用于实施上述方法的三维纳米多孔硅的制备装置，该装置设置有激波发生器。该装置能够在三维纳米多孔硅的制备过程中对硅颗粒进行激波辅助使得最终制得的三维纳米多孔硅的孔径分布均匀，且其构造简单操作方便。 |
