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一种硅片装片机用防腐蚀清洗槽

基本信息

申请号	CN201820080863.8	申请日	-
公开（公告）号	CN209189382U	公开（公告）日	2019-08-02
申请公布号	CN209189382U	申请公布日	2019-08-02
分类号	B08B3/10（2006.01）I; B08B3/12（2006.01）I; B08B13/00（2006.01）I	分类	清洁;
发明人	张志康; 罗涛; 孙文璐	申请（专利权）人	江西宝群电子科技有限公司
代理机构	-	代理人	-
地址	330000 江西省南昌市高新技术产业开发区高新七路192号
法律状态	-

摘要

本实用新型涉及一种硅片装片机用防腐蚀清洗槽。目前市场上的清洗槽大多用的是316L不锈钢槽或者耐酸碱的PP槽加不锈钢盖和不锈钢轴类传动机构，仍免不了会受酸碱的腐蚀，效果不是很好。本实用新型涉及一种硅片装片机用防腐蚀清洗槽，其中：纯水通过PP进纯水管流入PP清洗槽本体，酸碱液通过PP进液管流入PP清洗槽本体中，两者混合成溶液，对硅片进行清洗，流入的溶液可以通过PP筒形过滤网和PP排水管进行排空，也可通过PP外槽过滤网和PP排水管进行溢流排出。本装置采用这种防腐蚀清洗槽装置，实现对厚度为130μm～200μm，规格为125/156单晶、多晶硅片，进行全功能高速全自动化的清洗，同时通过安装耐酸碱的FEP鼓泡软管、纯钛特氟龙加热管和PP包装的超声波发生器。