一种用于超大尺寸长等径铌酸锂生长的装置和方法
基本信息
| 申请号 | CN202110804218.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113373518A | 公开（公告）日 | 2021-09-10 |
| 申请公布号 | CN113373518A | 申请公布日 | 2021-09-10 |
| 分类号 | C30B29/30（2006.01）I;C30B15/00（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 孙德辉;王蒙;韩文斌;刘宏 | 申请（专利权）人 | 山东恒元半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 济南誉丰专利代理事务所（普通合伙企业） | 代理人 | 薛鹏喜 |
| 地址 | 271199 山东省济南市莱芜高新技术产业区汇源大街67号高创中心1423-a01 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种用于超大尺寸长等径铌酸锂生长的装置和方法，所述装置包括生长装置与加料装置；生长装置包括第一坩埚及第一保温层；第一保温层和第一坩埚之间设有生长加热器；第一坩埚上方设有可旋转升降的籽晶杆，籽晶杆贯穿第一保温层的顶部；加料装置包括第二坩埚及第二保温层，第二坩埚与第二保温层之间设有化料加热器；第二坩埚的上方设有加料管，加料管穿过第二保温层；第一坩埚的底部通过输料管与第二坩埚的底部连通；输料管的外壁上设有输料加热器。本发明采用化料与生长相分离的方法，通过输料管的热量带入生长区熔体中心使得生长区域温度更均匀，以及及时补充原料的方法，避免了生长界面过冷导致的大尺寸铌酸锂晶体拖尾现象。 |
