一种半导体衬底清洗装置
基本信息
| 申请号 | CN202020839585.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213529815U | 公开（公告）日 | 2021-06-25 |
| 申请公布号 | CN213529815U | 申请公布日 | 2021-06-25 |
| 分类号 | B08B3/02（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 不公告发明人 | 申请（专利权）人 | 柳州臻驱电控科技有限公司 |
| 代理机构 | 杭州知管通专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 黄华 |
| 地址 | 545000广西壮族自治区柳州市鸡喇路16号青山厂内 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种半导体衬底清洗装置，本实用新型涉及清洗装置技术领域，半导体衬底清洗装置，包括上箱体、下箱体、电磁阀以及夹具，下箱体固定连接在上箱体正下方，且电磁阀位于上箱体右侧，夹具位于上箱体内部中间，上箱体呈中空状，且上箱体内部底面中间开有滑槽，滑槽朝前延伸至上箱体前侧，且上箱体左右内壁螺纹连接有至少十个对称排布的雾化喷头，雾化喷头表面均匀分布有若干个喷孔，且上箱体内部底面开有若干个通孔；本实用新型的有益效果在于：通过滑槽移动夹具便于衬底的拆卸和安装，通过雾化喷头使得衬底清洗彻底且避免损坏，使用脚踏开关控制电磁阀使得操作简单，出液量方便人为控制。 |
