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电子级氢氟酸制造系统及制造电子级氢氟酸的方法

基本信息

申请号 CN202010660885.3 申请日 -
公开（公告）号 CN113620252A 公开（公告）日 2021-11-09
申请公布号 CN113620252A 申请公布日 2021-11-09
分类号 C01B7/19（2006.01）I 分类 无机化学;
发明人 陈义平 申请（专利权）人 上翔电子化学材料工程股份有限公司
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 吴梦圆
地址 中国香港九龙尖沙咀柯士甸道29号11楼1102室
法律状态 -

摘要

摘要 一种电子级氢氟酸制造系统及制造电子级氢氟酸的方法，通过控制无水氢氟酸的沸点及冷凝温度，经过多段的气化、冷凝，使该无水氢氟酸中的杂质得以去除，之后再将气态氢氟酸过滤、吸收、冷却，以取得电子级氢氟酸产品。