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一种半自动晶圆贴膜机

基本信息

申请号 CN201720122659.3 申请日 -
公开（公告）号 CN206520790U 公开（公告）日 2017-09-26
申请公布号 CN206520790U 申请公布日 2017-09-26
分类号 B65B33/02(2006.01)I 分类 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料;
发明人 那洪亮;韩开宇 申请（专利权）人 中山市东翔微电子有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 528437 广东省中山市火炬开发区益围路16号
法律状态 -

摘要

摘要 一种半自动晶圆贴膜机，包括玻璃导轨柱、圆形玻璃、安装柱、铁环、支撑柱、温控开关、真空开关、主体、真空器、温控器、卷轴、上盖板、划刀和晶圆台，所述安装柱设置在主体后侧边缘，所述卷轴横向设置在安装柱上，所述上盖板通过转轴设置在安装柱上，上盖板中间位置背面侧设置有圆形玻璃，所述圆形玻璃上设置有可推动圆形玻璃转圈的带把手划刀，所述主体上设置有晶圆台及铁环，所述晶圆台上表面高于主体上表面，所述铁环上表面高于晶圆台上表面，所述主体前侧边缘设置有用于支撑上盖板往下盖合时的支撑柱，所述主体内部设置有真空器和温控器。本实用新型具有贴膜精准、无气泡的有点，一个人即可完成，贴膜效果和质量良好。