一种射频电源
基本信息
| 申请号 | CN201910844168.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110460246A | 公开（公告）日 | 2019-11-15 |
| 申请公布号 | CN110460246A | 申请公布日 | 2019-11-15 |
| 分类号 | H02M7/04;H02M3/335;H02M1/12;G01K7/00;G01K13/00 | 分类 | 发电、变电或配电; |
| 发明人 | 乐卫平;张桂东 | 申请（专利权）人 | 深圳市百世达半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 深圳市百世达半导体设备有限公司;深圳市恒运昌真空技术有限公司 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋101，201，301 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种射频电源，该射频电源中，在对功率调整及阻抗匹配模块输出的射频交流电进行采集时，充分考虑到环境温度对采样的影响，从而设置了恒温采样电路，恒温采样电路将其所处的环境温度保持在预设温度范围内，并采集射频交流电，以便后续根据该射频交流电调整输出至负载的射频交流电，从而尽量减小甚至避免了环境温度对射频交流电的影响，提高了射频交流电的采集精度，也提高了射频电源的输出电源的精度，减少了射频电源的输出电源的调整时间。 |
