一种基于射频电源的阻抗调节方法及射频电源系统
基本信息
| 申请号 | CN201910843137.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110473764A | 公开（公告）日 | 2019-11-19 |
| 申请公布号 | CN110473764A | 申请公布日 | 2019-11-19 |
| 分类号 | H01J37/32（2006.01）I; H01J37/248（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 林伟群; 乐卫平; 张桂东; 唐亚海; 林桂浩 | 申请（专利权）人 | 深圳市百世达半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 深圳市百世达半导体设备有限公司 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋101，201，301 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种基于射频电源的阻抗调节方法，利用射频电源的频率对匹配箱中的匹配网络的阻抗影响，具体地，射频电源的频率发生改变时，匹配网络中的电容和电感的阻抗也会发生变化，从而实现对匹配箱的阻抗的调整。此外，调节是否成功通过驻波比来进行判断，在驻波比小于预设匹配阈值时，则说明此时等离子体腔室与匹配箱的阻抗之和与射频电源的阻抗相等。射频电源的频率调节速度快于匹配箱的机械调节速度，满足阻抗随时变化的等离体子负载，提高了阻抗匹配的速度及精度。本发明还公开了一种射频电源系统，具有与上述阻抗调节方法相同的有益效果。 |
