匹配箱的输入端的阻抗调节方法、装置及射频电源系统
基本信息
| 申请号 | CN202010291595.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111417248B | 公开（公告）日 | 2021-12-31 |
| 申请公布号 | CN111417248B | 申请公布日 | 2021-12-31 |
| 分类号 | H05H1/46（2006.01）I;H01J37/32（2006.01）I | 分类 | 其他类目不包含的电技术; |
| 发明人 | 乐卫平;张桂东;林伟群;姚志毅 | 申请（专利权）人 | 深圳市百世达半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 高勇 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋101，201，301 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种匹配箱的输入端的阻抗匹配方法，该方案考虑到在匹配箱的输入端的阻抗没有达到目标阻抗之前，匹配箱的输入端的阻抗在调节过程中其相位角是发生变化的，且越靠近目标阻抗，阻抗的相位角的数值越小，基于此，本申请将相位角引入阻抗匹配过程中，使得匹配过程中步长随着相位角发生变化，实现当前频率远离最优频率时增大步长，当前频率在接近最优频率时减小步长，使得越靠近最优频率，频率的变化率越小，提高了阻抗匹配的速度及精度。本发明还公开了一种匹配箱的输入端的阻抗匹配装置及射频电源系统，具有与上述阻抗匹配方法相同的有益效果。 |
