一种射频匹配网络及射频电源系统
基本信息
| 申请号 | CN201910843120.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110456136A | 公开（公告）日 | 2019-11-15 |
| 申请公布号 | CN110456136A | 申请公布日 | 2019-11-15 |
| 分类号 | G01R19/00;G01K7/02;G01K7/16 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 乐卫平;张桂东 | 申请（专利权）人 | 深圳市百世达半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 深圳市百世达半导体设备有限公司 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋101，201，301 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种射频匹配网络，在获取L/C网络输出的射频交流电时，充分考虑到环境温度对信号采集的影响，恒温采样模块会先对自身所处的环境温度进行调整，以将环境温度调整至预设温度范围内，然后采集L/C网络输出端的射频交流电，以便后续第一处理器根据射频交流电通过所述驱动电路对L/C网络进行阻抗调整，实现L/C网络及负载的网络匹配。可见，由于恒温采样模块实现的是恒温采集，从而保证了自身静态工作点的稳定，使得采样信号不会发生失真，提高了采样信号的采样精度及后续的阻抗匹配精度，提高了射频电源系统的工作效率。本发明还公开了一种射频电源系统，具有与上述射频匹配网络相同的优点。 |
