一种匹配箱的阻抗调节方法、装置及射频电源系统
基本信息
| 申请号 | CN201910844116.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110536534A | 公开（公告）日 | 2019-12-03 |
| 申请公布号 | CN110536534A | 申请公布日 | 2019-12-03 |
| 分类号 | H05H1/46;H01J37/32 | 分类 | 其他类目不包含的电技术; |
| 发明人 | 林伟群;乐卫平;张桂东;姚志毅 | 申请（专利权）人 | 深圳市百世达半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 深圳市百世达半导体设备有限公司 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋101，201，301 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种匹配箱的阻抗调节方法、装置及射频电源系统，首先建立匹配箱的简化模型，在建立简化模型时，保留了匹配箱原本的两个控制自由度，采用的是第二电感和第一电容构成的第一支路和第三电感和及第二电容构成的第二支路的形式，在确定简化模型中的三个电感的电感值后，通过对第一电容和第二电容的距离的调节来调节匹配箱的阻抗，通过该种方式使得简化模型能够逼近匹配箱的实际电路结构的功能，一方面，本申请中采用两个支路，且支路均有电容和电感串联连接构成，可以配合调节，出现优化方向错误的概率极低，从而提高了阻抗调节的精度和可靠性；另一方面，简化模型的参数少，计算量小，匹配速度快。 |
