匹配箱的阻抗调节方法、系统、装置及射频电源系统
基本信息
| 申请号 | CN202010290812.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111328175A | 公开（公告）日 | 2020-06-23 |
| 申请公布号 | CN111328175A | 申请公布日 | 2020-06-23 |
| 分类号 | H05H1/46(2006.01)I;H01J37/32(2006.01)I | 分类 | 其他类目不包含的电技术; |
| 发明人 | 乐卫平;张桂东;林伟群;姚志毅 | 申请（专利权）人 | 深圳市百世达半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 深圳市恒运昌真空技术有限公司;深圳市百世达半导体设备有限公司 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋101，201，301 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种匹配箱的阻抗调节方法、装置、系统及射频电源系统，根据相位电容及幅值电容的待调节极板的位置—容值—容值处阻抗的变化量的关系建立了补偿步长增益关系式，从而使得相位电容/幅值电容的不同容值处对应的补偿步长增益是不同的，从而与调节因子配合调整阻抗的变化量，使得相位电容/幅值电容的不同容值处的阻抗的变化量基本相同，减小匹配误差，降低匹配难度，提高匹配精度。此外，本申请中的第一补偿步长增益还考虑到了幅值电容的影响，第二补偿步长增益还考虑到了相位电容的影响，二者配合起来调节，进一步提高了匹配速度及匹配精度。 |
