分光曝光系统

基本信息

申请号 CN202023045894.6 申请日 -
公开(公告)号 CN214067574U 公开(公告)日 2021-08-27
申请公布号 CN214067574U 申请公布日 2021-08-27
分类号 G03F7/20(2006.01)I 分类 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕;
发明人 郭党委;胡雅文;吴明仓 申请(专利权)人 广东思沃激光科技有限公司
代理机构 广州三环专利商标代理有限公司 代理人 张艳美;毛伟碧
地址 523000广东省东莞市松山湖园区研发一路1号104房
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种分光曝光系统,包括DMD微反射镜、分光镜、反射镜、第一成像组件及第二成像组件,DMD微反射镜、分光镜及第一成像组件由上往下依次设置,分光镜的镜面呈倾斜设置,反射镜于水平方向与分光镜邻设,反射镜的镜面与分光镜的镜面平行,第二成像组件位于反射镜的正下方。与现有技术相比,本实用新型的分光曝光系统借助分光镜及反射镜的配合,从而将DMD微反射镜上的画面分两路投影在工作台上,起到了两个DMD微反射镜同时工作的效果,使得曝光面得到两倍面积的图像,一方面节省了成本及安装空间,另一方面提高了曝光的效率。