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半导体薄膜太阳能电池的制造系统和方法

基本信息

申请号 CN201010149892.3 申请日 -
公开（公告）号 CN102024870B 公开（公告）日 2013-07-24
申请公布号 CN102024870B 申请公布日 2013-07-24
分类号 H01L31/18(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 林朝晖;李晓常 申请（专利权）人 福建欧德生光电科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 362000 福建省泉州市鲤城区江南高新科技电子信息产业园区
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种半导体薄膜太阳能电池的制造系统和方法，能够在热化学反应生成化合物薄膜的过程中提供连续、平稳的热化学变温反应条件，特别适合于高量产、连续、稳定可控地制造铜铟镓硒多晶薄膜太阳能电池的吸收层。