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一种多像素超小电容X射线探测单元及探测器

基本信息

申请号 CN202021694270.4 申请日 -
公开（公告）号 CN212380427U 公开（公告）日 2021-01-19
申请公布号 CN212380427U 申请公布日 2021-01-19
分类号 H01L31/0224(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 李正;唐立鹏 申请（专利权）人 湖南正芯微电子探测器有限公司
代理机构 长沙新裕知识产权代理有限公司 代理人 湖南正芯微电子探测器有限公司
地址 411100湖南省湘潭市岳塘区创新创业园C区4栋4楼
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种多像素超小电容X射线探测单元及探测器，多像素超小电容X射线探测单元，包括n型硅基体，其顶面设有P+阴极，底面设有n+阳极；n型硅基体的顶面设有第一二氧化硅矩形框，第一二氧化硅矩形框内设有第二二氧化硅矩形框，两者间形成第一P+重掺杂离子注入区，第二二氧化硅矩形框内形成第二P+重掺杂离子注入区，第二二氧化硅矩形框上形成连通第一P+重掺杂离子注入区和第二P+重掺杂离子注入区形成P+阴极的缺口，缺口为第三P+重掺杂离子注入区，第二P+重掺杂离子注入区上镀设有阴极铝层。一种多像素超小电容X射线探测器，由多个上述所述的多像素超小电容x射线探测单元呈阵列分布组成，电极面积和电容值小。