一种可镀多种膜的管式PECVD石墨舟结构
基本信息
| 申请号 | CN202121611786.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215365978U | 公开（公告）日 | 2021-12-31 |
| 申请公布号 | CN215365978U | 申请公布日 | 2021-12-31 |
| 分类号 | C23C16/458（2006.01）I;C23C16/50（2006.01）I;C23C16/455（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 黎志欣;胡动力 | 申请（专利权）人 | 大连连城数控机器股份有限公司 |
| 代理机构 | 大连东方专利代理有限责任公司 | 代理人 | 李洪福 |
| 地址 | 116000辽宁省大连市甘井子区营城子镇工业园区营日路40号-1、40号-2、40号-3 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种可镀多种膜的管式PECVD石墨舟结构，包括多个依次叠放的舟片；所述舟片设有多个镂空区域，所述镂空区域用于安装硅片，且所述镂空区域周围设有至少一个卡住所述硅片的勾点；所述镂空区域安装硅片后，相临两个舟片之间形成独立的且密闭的镀膜通道，所述镀膜通道的延伸方向平行于所述舟片的长度方向，所述舟片在其长度方向的两端分别加工有与所述镀膜通道连通的进气孔和出气孔；所述镀膜通道内通入镀膜气体或惰性气体。本实用新型单个设备上可以镀多种膜，节省了倒片时间，同时减少倒片过程的划伤，提升了良率。同时避免镀膜过程暴露在空气中，减少污染。 |
