一种晶圆加工设备用跨距可调节的定心夹紧装置
基本信息
| 申请号 | CN202121663471.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215266253U | 公开（公告）日 | 2021-12-21 |
| 申请公布号 | CN215266253U | 申请公布日 | 2021-12-21 |
| 分类号 | H01L21/687（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 朱凯;周江辉;唐学千;金明来;金敬武;徐杰;王永哲 | 申请（专利权）人 | 大连连城数控机器股份有限公司 |
| 代理机构 | 大连东方专利代理有限责任公司 | 代理人 | 李洪福 |
| 地址 | 116000辽宁省大连市甘井子区营城子镇工业园区营日路40号-1、40号-2、40号-3 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种晶圆加工设备用跨距可调节的定心夹紧装置，包括两个滑板导轨、硅棒承载装置、两个夹爪系统和夹爪系统驱动机构；所述夹爪系统包括滑板、夹爪导轨、两个夹爪和夹爪驱动机构，用于驱动两个所述夹爪沿所述夹爪导轨的延伸方向相向或相离运动。滑板导轨和夹爪导轨的延伸方向垂直设置，两个所述夹爪相对的面具有呈V型的夹口。本实用新型可以实现将不同直径规格的圆柱形晶圆毛坯棒料保持同一中心固定夹紧。且可根据不同长度硅棒，调节夹紧点跨距，保证晶圆毛坯中轴线水平。 |
