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磁感应器件及制造方法

基本信息

申请号 CN201710374584.2 申请日 -
公开（公告）号 CN107123505A 公开（公告）日 2017-09-01
申请公布号 CN107123505A 申请公布日 2017-09-01
分类号 H01F17/00(2006.01)I;H01F27/28(2006.01)I;H01L23/64(2006.01)I;C23C28/02(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 方向明;伍荣翔;单建安 申请（专利权）人 成都线易科技有限责任公司
代理机构 北京超凡志成知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 李思霖
地址 610213 四川省成都市天府新区天府大道南段846号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明实施例提供的磁感应器件及制造方法在衬底的第一表面开设有第一凹槽，第一金属层设置在第一凹槽内，且第一金属层的表面低于第一表面，第一金属层的表面与第一表面共同构成第一凹陷部，第一保护层的形状与第一凹陷部的形状相同，且第一保护层覆盖第一凹陷部。本发明实施例中，由于第一金属层的表面低于第一表面，使得覆盖第一金属层的第一保护层互相接触的可能性更小，更有利于提高第一金属层的布线密度，使得磁感应器件在嵌入式金属线的布线密度提高的情况下，不容易由于第一保护层的相互接触而导致短路，有利于提高使用嵌入式金属线的磁感应器件的性能。