一种抗颠振分子泵系统
基本信息
| 申请号 | CN202022069067.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213331586U | 公开（公告）日 | 2021-06-01 |
| 申请公布号 | CN213331586U | 申请公布日 | 2021-06-01 |
| 分类号 | F04D29/00（2006.01）I;F04D19/04（2006.01）I;F04D29/66（2006.01）I | 分类 | 液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵; |
| 发明人 | 邓高飞;刘淑婷;陈林;齐英 | 申请（专利权）人 | 北京中科九微科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 | 代理人 | 秦广成 |
| 地址 | 101111北京市大兴区经济技术开发区科创十四街99号33幢D栋2层2167号(集中办公区） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供的一种抗颠振分子泵系统，属于分子泵技术领域，包括：机组底板；分子泵，连接在机组底板的顶面上；前级泵，连接在机组底板的顶面上，并通过管路与所述分子泵的排气口处连通；控制器，连接在机组底板的顶面上，并分别与分子泵、前级泵电连接；减振器，一端连接在机组底板的底面上，另一端适于固定。本实用新型的分子泵、前级泵以及控制器集成在机组底板上，使得整体结构紧凑且安装方便；机组底板的底面设置有减振器，能有效地吸收消除其它设备对分子泵系统的振动影响，保障了分子泵系统的性能和使用寿命。 |
