一种分子泵机组及真空系统检漏方法
基本信息
| 申请号 | CN202010929724.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111999014A | 公开（公告）日 | 2020-11-27 |
| 申请公布号 | CN111999014A | 申请公布日 | 2020-11-27 |
| 分类号 | G01M3/26(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 苏长明;任世瑜;邓高飞;孙灵豪;齐英;陈林 | 申请（专利权）人 | 北京中科九微科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 | 代理人 | 北京中科九微科技有限公司 |
| 地址 | 102600北京市大兴区经济技术开发区科创十四街99号33幢D栋2层2167号(集中办公区） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种分子泵机组及真空检漏方法，其中，分子泵机组包括前级泵及分子泵、前级真空计、高真空计、机组控制器；前级真空计设置于真空管路上，用于测量前级泵开启时的前级压强；高真空计设置于真空室上，用于测量分子泵开启时的真空室压强；机组控制器用于根据前级压强和真空室压强检测分子泵机组所在的真空系统是否存在漏气故障。通过实施本发明可以实现漏气故障的自检测，无需使用额外的仪器，使得对分子泵机组漏气故障的检查更简单快捷。 |
