一种抗振分子泵

基本信息

申请号 CN202022219959.8 申请日 -
公开(公告)号 CN213235487U 公开(公告)日 2021-05-18
申请公布号 CN213235487U 申请公布日 2021-05-18
分类号 F04D19/04;F04D29/056;F04D29/053;F04D29/66;F04D29/58 分类 液体变容式机械;液体泵或弹性流体泵;
发明人 罗守庚;邓高飞;蔺宇;陈琳 申请(专利权)人 北京中科九微科技有限公司
代理机构 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 代理人 秦广成
地址 101111 北京市大兴区经济技术开发区科创十四街99号33幢D栋2层2167号(集中办公区)
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供的一种抗振分子泵,属于分子泵技术领域,包括:泵体,内部具有贯通的轴孔,轴孔的两端分别连接有第一挡盖和第二挡盖;主轴,外壁上间隔地套接有上径向轴承和下径向轴承,通过上径向轴承和下径向轴承转动连接在轴孔内;上径向轴承的顶端通过第一减振垫与第一挡盖抵接,第一减振垫与上径向轴承的顶端之间设有导热弹片;上径向轴承的外圈与泵体之间设有第二减振垫,第二减振垫与导热弹片抵接;下径向轴承的底端通过缓冲组件与第二挡盖抵接,下径向轴承的外圈与泵体之间设有第三减振垫。本实用新型的第一减振垫、第二减振垫、第三减振垫以及缓冲组件的设置,增强了分子泵轴向与径向的抗振能力,还增强了主轴及上径向轴承的散热能力。