一种高精度激光加工远心F-Theta扫描透镜
基本信息
| 申请号 | CN201910034362.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109633865A | 公开（公告）日 | 2019-04-16 |
| 申请公布号 | CN109633865A | 申请公布日 | 2019-04-16 |
| 分类号 | G02B13/00（2006.01）I; G02B13/22（2006.01）I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 辜长明; 朱国亮 | 申请（专利权）人 | 淄博海泰新光光学技术有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 255000 山东省淄博市高新区民祥路华鸿物流园7号仓库二层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种激光加工应用中的远心F‑Theta扫描场镜。从激光入射方向开始，包括具有焦距f1的第一透镜L1、具有焦距f2的第二透镜L2、具有焦距f3的第三透镜L3、具有焦距f4的第四透镜L4、具有焦距f5的第五透镜L5、具有焦距f6的第六透镜L6，物镜总焦距为f。本发明的扫描场镜排布成“+‑‑+++”的光焦度分布，与现有技术相比，扫描场镜在保证严格F‑Theta线性前提下，全幅面光斑大小具有高度一致性并保持良好的会聚性。本发明F‑Theta镜头特别适用于高精度激光加工应用，如切割和钻孔。 |
