一种多元氮化物医疗器械保护性涂层及其制备方法

基本信息

申请号 CN202110396499.2 申请日 -
公开(公告)号 CN113106390A 公开(公告)日 2021-07-13
申请公布号 CN113106390A 申请公布日 2021-07-13
分类号 C23C14/06(2006.01)I;C23C14/02(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 李伟;邵国森 申请(专利权)人 上海锐力医疗器械有限公司
代理机构 北京迎硕知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 钱扬保;张群峰
地址 200433上海市杨浦区翔殷路128号11号楼D座302室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种多元氮化物医疗器械保护性涂层,其分子式为(AlCrTiZrMo)N,属于保护性涂层技术领域。本发明还提供上述涂层制备方法:首先将基体表面作镜面抛光处理,然后经过丙酮、酒精的超声清洗,真空离子清洗后,采用射频反应磁控溅射方法沉积AlCrTiZrMo层。其中(AlCrTiZrMo)N多元氮化物涂层由等原子摩尔比的AlCrTiZrMo合金靶材在(Ar+N2)气氛下制得。本发明涉及的多元氮化物涂层能够弥补医疗器械存在硬度及耐磨性等性能方面的不足,拓宽了医疗器械保护性涂层的研究范围。