一种硅片生产加工用视觉检测器
基本信息
| 申请号 | CN202122730680.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216120215U | 公开（公告）日 | 2022-03-22 |
| 申请公布号 | CN216120215U | 申请公布日 | 2022-03-22 |
| 分类号 | H01L21/66（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I;B08B1/02（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 李跃 | 申请（专利权）人 | 东方日升（安徽）新能源有限公司 |
| 代理机构 | 滁州创科维知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 洪余节 |
| 地址 | 239000安徽省滁州市常州路以东、海宁路以南、滁州大道以西、铜陵路以北 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种硅片生产加工用视觉检测器，包括防尘仓，所述防尘仓内底面固定设置有两个支座，两个所述支座之间固定设置有放置盘，所述放置盘上设置有反馈基板，所述放置盘外的两相对侧均设置有滚动带，两个所述滚动带之间固定设置有可对反馈基板的上表面进行周期性清洁的清洁刷。本实用新型通过设置固定于滚动带上的清洁刷，使得清洁刷在滚动带的带动下发生环绕放置盘上下侧的周期性滚动，进而实现了，既在清洁刷滚动经过放置盘下侧时，不妨碍硅片的视觉检测要求，也在清洁刷滚动经过放置盘上侧时，对反馈基板的上表面进行清洁，保证硅片视觉检测的准确性，代替了人工将反馈基板取出而进行清洁的麻烦操作。 |
