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一种PERC晶硅太阳能电池及其制备方法

基本信息

申请号	CN202110919743.9	申请日	-
公开（公告）号	CN113809184A	公开（公告）日	2021-12-17
申请公布号	CN113809184A	申请公布日	2021-12-17
分类号	H01L31/0216（2014.01）I;H01L31/068（2012.01）I;H01L31/18（2006.01）I	分类	基本电气元件;
发明人	李志云;蒋柱;李跃	申请（专利权）人	东方日升（安徽）新能源有限公司
代理机构	滁州创科维知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	洪余节
地址	239000安徽省滁州市常州路以东、海宁路以南、滁州大道以西、铜陵路以北
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种PERC晶硅太阳能电池及其制备方法，涉及PERC晶硅太阳能电池技术领域，制备方法，包括以下步骤；S1：在硅基体正面形成第一氧化硅膜层；S2：在硅基体正面第一氧化硅膜层表面形成SiC：H膜层；其中，形成SiC：H膜层为通入反应气体SiH4、CH4进行沉积，通入时间为10～30秒，反应气体SiH4和CH4的通入流量比为1：（2～10），本发明在硅基体正面和背面分别采用SiC：H膜层加氮化硅或氮氧化硅膜层替代传统氮化硅组合膜层以及氧化铝叠加氮化硅膜层，通过在形成SiC：H膜层时调节通入的CH4比例，以实现对C含量进行调整，C含量越高导电性越好，以实现对SiC：H膜层导电性以及不同波长透光率进行调整。