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单晶PERC电池及其扩散方法

基本信息

申请号	CN202110988501.5	申请日	-
公开（公告）号	CN113851556A	公开（公告）日	2021-12-28
申请公布号	CN113851556A	申请公布日	2021-12-28
分类号	H01L31/18（2006.01）I;H01L21/225（2006.01）I;H01L31/068（2012.01）I;H01L31/0216（2014.01）I	分类	基本电气元件;
发明人	朱士祥	申请（专利权）人	东方日升（安徽）新能源有限公司
代理机构	滁州创科维知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	洪余节
地址	239000安徽省滁州市常州路以东、海宁路以南、滁州大道以西、铜陵路以北
法律状态	-

摘要

本发明公开了单晶PERC电池及其扩散方法，包括如下步骤：S1：第一次预沉积，通入携带三氯氧磷的氮气和氧气进行第一次预沉积，流量为1001‑1200sccm，氧气流量为500‑700sccm，时间为200‑450s，温度750℃‑800℃；S2：温度升至800℃‑900℃，通入携带三氯氧磷的氮气和氧气，携带三氯氧磷的氮气流量为400‑600sccm，氧气流量为80‑600sccm；时间为500‑800s；S4：炉内进行降温处理；本发明提供的单晶PERC电池及其扩散方法，通过在第一次预沉积的步骤中增加三氯氧磷的通入量，即在规定的时间内能够提高扩散表面浓度，加厚硅片表面的磷硅玻璃，从而对硅片内部PN结起到一定的保护作用，可消除PN结表面的皮带印，有效的保护硅片内部的PN结，提高单晶PERC电池的生产质量。